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简单介绍：
日本 FLUORO 福乐 FV-30 为两级式无油隔膜干式真空泵，FV 系列通用主力款，专为半导体无尘操作台、实验室精密拾取场景开发。采用电磁直驱双隔膜结构，泵腔无润滑油，杜绝油雾污染工件，满足百级、千级洁净车间使用标准。
详情介绍：
日本 FLUORO 福乐 FV-30 为两级式无油隔膜干式真空泵，FV 系列通用主力款，专为半导体无尘操作台、实验室精密拾取场景开发。采用电磁直驱双隔膜结构，泵腔无润滑油，杜绝油雾污染工件，满足百级、千级洁净车间使用标准。 泵体外壳采用防静电尼龙材质，可搭配导电管路、导电吸嘴，构建完整 ESD 防静电体系，保护晶圆、光学薄片、芯片等静电敏感器件；进出气配备双路 HEPA 高效过滤器，0.3μm 粒子过滤效率 99.97%，配置透明滤芯观察视窗，无需拆机直观查看滤芯脏污状态，维护便捷。隔膜表面 PTFE 特氟龙涂层，耐乙醇、丙酮等溶剂蒸汽。 整机功耗仅 5W，轻量化 800g，机身紧凑，支持 7×24h 连续运行，设计耐久寿命≥9000 小时，运行噪音低。极限负压 - 50kPa，抽气流量 2.5L/min，负压输出平稳，适合 6 英寸以内硅片、光学镜片、PCB 薄片拾取。无需空压机，通电即可使用，既可桌面摆放，也可内嵌自动化设备、手套箱。 原厂标配 Φ3×5 软管 1 米 + L 型接头。标准规格 AC100V，可选 220V 定制版本。广泛用于半导体晶圆转运、光电元器件组装、实验室样品拾取。原厂进口，可提供规格书，适配设备集成商、无尘实验室采购选型。
核心参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | FV-30 |
| 品牌 | 日本 FLUORO 福乐 |
| 泵类型 | 两级无油干式隔膜真空泵 |
| 额定电压 | AC100V（可选 220V 定制） |
| 功耗 | 5W |
| 极限负压 | -50kPa |
| 抽气流量 | 2.5 L/min（50Hz） |
| 外形尺寸 | 137×88×85 mm |
| 整机重量 | 800 g |
| 连续寿命 | ≥9000h |
| 过滤 | 进出气双路 HEPA，带可视观察窗 |
| 特性 | ESD 防静电、PTFE 隔膜、洁净无油 |
| 适用环境 | 无尘车间，*高环境温度 40℃ |
| 标配附件 | L 型接头、Φ3×5 软管 1 米 |
✅FV 系列选型对比
表格
| 型号 | 定位 | 负压 | 流量 | HEPA 过滤 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| FV-10 | 微小工件轻吸附，手动 | -3~-14kPa | 2.8L/min | 无 | 实验室小件拾取，吸力柔和 |
| FV-30 | 通用主力款 | -50kPa | 2.5L/min | 双路 HEPA | 6 寸晶圆、光学薄片，无尘工作台 |
| FV-60 | 高负压款 | -85kPa | 2.5L/min | 双路 HEPA | 8-12 寸晶圆、翘曲薄片强吸附 |
| FV-XP | 大流量多工位款 | -60kPa | 5.0L/min | 双路 HEPA | 自动化产线，多吸笔并联 |
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