产品详情
  • 产品名称:日本FLUORO福乐FV-XP无油隔膜真空泵

  • 产品型号:FV--XP
  • 产品厂商:日本FLUORO福乐
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简单介绍:
日本 FLUORO 福乐 FV-XP 为**高流量型无油隔膜干式真空泵**,专为半导体、光电无尘产线真空拾取场景开发,属于 FV 系列主力大流量款,适配多支真空吸笔并联作业。泵体采用电磁直驱多级隔膜结构,泵腔无润滑油,杜绝油雾污染,满足百级、千级洁净车间使用标准。
详情介绍:

日本 FLUORO 福乐 FV-XP 为高流量型无油隔膜干式真空泵,专为半导体、光电无尘产线真空拾取场景开发,属于 FV 系列主力大流量款,适配多支真空吸笔并联作业。泵体采用电磁直驱多级隔膜结构,泵腔无润滑油,杜绝油雾污染,满足百级、千级洁净车间使用标准。 隔膜表层 PTFE 特氟龙涂层,耐乙醇、丙酮与弱酸弱碱蒸汽;整机防静电尼龙外壳,配套导电管路构建 ESD 防静电系统,保护晶圆、芯片等静电敏感器件。进出气双路 HEPA 高效过滤器,0.3μm 粒子过滤效率 99.97%,带透明滤芯观察窗,直观查看耗材状态,维护便捷。 标准规格 AC100V,功耗仅 10W,机身紧凑轻量化,方便集成至自动化设备内部。极限负压 - 60kPa,流量 5L/min,针对长管路、多支路、存在微量泄漏气路设计,大容积腔体可快速建立真空,保证多工位同步拾取节拍稳定。 支持 24h 连续长时间运行,设计连续寿命超 8760 小时,低噪音低发热。广泛用于半导体晶圆拾取、光学元器件、PCB 薄片、实验室样品抽滤。原厂进口,可配套福乐真空吸笔整套方案,提供原厂规格书,适合设备集成商、半导体自动化厂商选型采购。

核心参数表

表格

项目 参数
型号 FV-XP
品牌 日本 FLUORO 福乐
泵类型 无油干式隔膜真空泵
额定电压 AC100V(可选 220V 版本)
功耗 10W
极限负压 -60kPa
抽气流量 5.0 L/min
外形尺寸 137×88×133 mm
整机重量 1.25kg
连续寿命 ≥8760h
过滤 进出气 HEPA 双过滤
特性 防静电 ESD、PTFE 隔膜、无油洁净
适用环境 无尘车间,*高环境温度 40℃
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