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特点
以透过光谱测量、色测量为代表，通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等，可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置
可用于彩色滤光片的光学特性或玻璃基板上膜的薄膜解析等各类评价
通过自动对焦功能和自动绘素位置相结合，测量精度高，登陆recipe实现完全自动检查
测量项目
彩色滤光片评价
色度(XYZ，xy，Lab，L*a*b*,u'v'，u*v*)
色差，白平衡
反射率测量 *
光学浓度（OD）测量 *
画素幅测量 *
AF（自动对焦），结合自动绘素 *
膜厚评价
膜厚测量
膜物性解析（n:折射率，k：消减系数）
色测量（透过光谱测量）