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产品特色
动画
● 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内
● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的**反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）
● 单点对焦加量测在1秒内完成
● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）
● 独立测试头对应各种inline定制化需求
● *小对应spot约3μm
● ****可针对超薄膜解析nk
量测项目
● **反射率分析
● 多层膜解析（50层）
● 光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可完全不受其影响，单独测量上面的膜。
（**编号 第 5172203 号）
应用范围
● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料：滤光片、抗反射膜
● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等
规格式样
（自动XY平台型）
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OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
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波长范围 |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
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膜厚范围 |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
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测定时间 |
1秒 / 1点以内 |
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光径大小 |
10μm (*小约3μm) | ||
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感光元件 |
CCD |
InGaAs |
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光源规格 |
氘灯 卤素灯 |
卤素灯 |
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尺寸 |
556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分) | ||
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重量 |
66kg（自动XY平台型的主体部分） |
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