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3D 显微镜单元 LV-0383 是用于激光多普勒测振仪的 3D 显微镜单元。三个激光多普勒振动计和一个显微镜装置可以非接触式检测三个轴上发生的微小物体的振动。同轴落射照明和两个不同放大倍率的数码摄像机可实现快速准确的定位和静态图像记录。 它可以评估 MEMS（微机电系统）、微结构、小质量物体以及超声波驱动的目标振动的三维行为，这些行为很难通过接触方法检测。
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通过将数字位移计单元 LV-0121A 连接到激光多普勒振动计 LV-1800，可以以*大 1 MHz 采样和 0.155 nm 的高分辨率检测直流振动位移值 (m)。位移值以模拟和数字格式输出，通过使用专用位移分析软件LV-0930，可以进行速度（m/s）和加速度（m/s 2