主营产品：
日本MUSASHI武藏（点胶机）、日本AITEC艾泰克（表面检测光源）、日本HOYA豪雅（UV固化灯，玻璃镜片，日本FURUPLA富如拉（喷壶），日本SSD西西蒂（防静电产品），国SIMCO思美高（防静电、除尘产品）
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产品详情
简单介绍：
日本OTSUKA大塚膜厚在线评估测试系统MCPD series
详情介绍：
产品信息
特 点
● *适合工艺过程中的薄膜高速测量
● *短曝光时间1ms～※根据规格
● 支持远程测量
● 膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）
基本配置
多点测量点切换对应系统
在多点测量点切换对应系统中，通过在TD方向预先设置任意宽度的多分支光纤，可以在不驱动光纤的情况下测量TD方向的膜厚分布。可以作为涂层的条件和实时监视器使用。
检测器和数据处理系统为1式，通过光纤的光路切换可以进行多点测定。
横动单元对应系统
在横动单元对应系统中，通过在TD方向上驱动横动单元，可以以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。
可以作为涂层条件提出和实时监控使用。 由于通过排线单元的驱动进行多点测量，因此无需准备多台检测器和数据处理。
即使在真空环境下也可以在多点进行反射、透射光谱测定
通过使用各种法兰对应的耐真空纤维，可以在高真空下测量反射、透射光谱。
另外，膜厚运算不易受到基膜的上下移动的影响，并且采用精度良好的薄膜测量大冢电子独自的算法，可以作为实时监视器使用。
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