主营产品:
日本MUSASHI武藏(点胶机)、日本AITEC艾泰克(表面检测光源)、日本HOYA豪雅(UV固化灯,玻璃镜片,日本FURUPLA富如拉(喷壶),日本SSD西西蒂(防静电产品),国SIMCO思美高(防静电、除尘产品)
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简单介绍:
日本OTSUKA大塚云南玉溪代理分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3
详情介绍:
分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3

产品特色
● 非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
● 采用分光干涉法实现高度检测再现性
● 可进行高速的即时研磨检测
● 可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
● 可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
● 体积小、省空間、设备安装简易
● 可对应线上检测的外部信号触发需求
● 采用*适合膜厚检测的独自解析演算法。
● 可自动进行膜厚分布制图(选配项目)
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