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产品详情
  • 产品名称:日本OTSUKA大塚云南代理分光膜厚仪

  • 产品型号: SF-3
  • 产品厂商:日本OTSUKA大塚
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简单介绍:
日本OTSUKA大塚云南玉溪代理分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3
详情介绍:

分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3



产品特色

● 非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
● 采用分光干涉法实现高度检测再现性
● 可进行高速的即时研磨检测
● 可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
● 可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
● 体积小、省空間、设备安装简易
● 可对应线上检测的外部信号触发需求
● 采用*适合膜厚检测的独自解析演算法。
● 可自动进行膜厚分布制图(选配项目)



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