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产品信息
特点
● 可携带至现场的手持式
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
测量项目
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膜厚测量范围 |
1μm～50μm |
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测量重复性 |
0.01μm |
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测量时间 |
1秒以下 |
Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较
与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场”以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。
与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因为用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚计的量测精度。
与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到**值！
不需要量测经验，可快速得到精准的膜厚结果
规格样式
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量测原理 |
反射分光法（光干涉法）、非破坏性量测 |
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膜厚量测范围 |
1~50μm（显示上限60μm） |
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重复精度 |
2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm） |
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量测时间 |
1秒内 |
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量测层数 |
1层 |
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数据输出 |
附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案 |
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量测Spot |
Φ1mm以下 |
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重量 |
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约1.1kg |
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选配
笔型探头
能够测量狭窄区域或形状的样品。 探头**Φ6mm。
非接触式载台
对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品，可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。
使用场景
产品开发-量测试作品
1.携带到合作厂商等，直接在现场量测效率Up
2.试作阶段的检查方法商定效率Up
产线-设定产线参数、提高良率
1.现场可直接量测，无须准备，量测时间短、效率Up
2.产品检查的早期阶段发现问题，事后的对策更加灵活
质量管理-品管效率Up
1.现场可直接量测高精度量测成品，尽早发现**品异状
2.事后的对策可更加灵活
After Service-活用可携带的优点
在产品出货后的客户端也可直接带去量测。
现场较难量测的立体物、无法切割破坏的样品（例如：窗户的Coating等）。
