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日本FLUORO福乐非接触式晶圆传输的 BC伯努利卡盘特点
日期：2026-09-02 09:59
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摘要：当您将晶圆放入导向环的四个白色销钉内并按下启动按钮时，晶圆将漂浮到中心。之后用黑色方销固定，可以无接触运输。
用于非接触式晶圆传输的伯努利卡盘 BC 系列的特点
由于伯努利卡盘使用高压，出于**考虑，我们建议您将按钮朝下使用，就像使用气 枪一样。 （请参阅左图。）
要使用伯努利卡盘，您需要配备 9 升或以上储罐的压缩机和调节器。